因而可以或许快速且切确地调整束发生器、聚光器透镜系统、不形成小我投资。国度学问产权局消息显示，申请日期为2024年6月。机械调整方式可取电气调整方式连系。本文为AI基于第三方数据生成。仅供参考。专利摘要显示，相关计较机法式产物以及粒子束柱”的专利，举例来说，投资需隆重。公开号CN121359235A，声明：市场有风险，本发现公开了用于粒子束柱的多种从动化机械调整方式。卡尔蔡司MultiSEM无限义务公司申请一项名为“从动化机械调整粒子束柱的方式，